誤差類型
MEMS 陀螺儀和加速度計的工作性能受到多種誤差因素的影響，可以把這些誤差因素分爲確定性誤差和隨機誤差[，其中，確定性誤差主要指的是敏感物理模型中參數變化如零偏、軸失準角、刻度因數等誤差項引起的擾動誤差和敏感工作環境中的溫度、磁場等因素的環境敏感誤差；隨機誤差是指由不確定因素引起的隨機漂移，其通常包含有量化噪聲、白噪聲、偏差不穩定性(閃爍噪聲)和隨機遊走等。
MEMS 慣性器件必須通過相應的硬件和軟件進行誤差補償才能應用於導航系統。其中，MEMS 慣性器件的硬件補償主要解決確定性誤差，並可以通過電路補償方法或者特殊結構來減小甚至消除。MEMS 慣性器件的軟件補償主要是針對工作過程中的隨機誤差，基本原理是利用濾波器把觀測方程和狀態方程中的信息進行融合處理，並估計出隨機誤差的狀態參數。
