MEMS（Micro Electro Mechanical System，微機電系統）技術被廣泛應用於光纖通信系統中，MEMS技術與光學技術的結合，通常稱作MOEMS技術。最爲常用的MOEMS器件包括光衰減器VOA、光開關OS、可調光學濾波器TOF、動態增益均衡器DGE、波長選擇開關WSS和矩陣光開關OXC。
VOA在光纖通信系統中常用於光功率均衡，在各種技術方案中，MEMS VOA具有尺寸小、成本低和易於製造的優勢。最常用的MEMS VOA有兩類：MEMS Shutter型和MEMS微鏡型，前者通常以熱效應驅動，後者通常以靜電力驅動。
MEMS Shutter型VOA
基於MEMS Shutter的VOA結構如圖1所示，MEMS Shutter被插入兩根光纖之間的光路，衰減量取決於被阻擋的光束截面大小。在實際應用中，這種VOA也可以設計成反射型。
圖1. 基於MEMS shutter的VOA結構
MEMS微鏡型VOA
如圖2所示爲基於MEMS扭鏡的VOA結構，它以雙光纖準直器的兩根尾纖作爲輸入/輸出端口，準直光束被MEMS微鏡反射偏轉，從而聯通輸入/輸出端口之間的光路。扭動微鏡讓光束髮生偏轉，從而產生光功率的衰減。
圖2. 基於MEMS扭鏡的VOA結構
MEMS扭鏡通常有兩種結構，即平板電極和梳齒電極，如圖3所示。考慮0~20dB的衰減範圍，前者通常需要>10V的驅動電壓，後者可將驅動電壓降至5V以下。然而，僅僅一個微小的粉塵顆粒就會卡住梳齒電極，因此其生產良率較低。採用梳齒電極的MEMS微鏡，通常需要在超淨環境下封裝。
圖3. 兩類MEMS扭鏡：平板電極和梳齒電極
MEMS微鏡型VOA中的WDL問題
基於MEMS shutter和MEMS微鏡的VOA均有廣泛應用，前者性能指標較好，但裝配工藝相對複雜；後者易於裝配但WDL（波長相關損耗）相對較大。在寬帶應用中，此類VOA會對不同波長產生不同的衰減量，此現象定義爲WDL。寬帶應用中，要求WDL指標越小越好。
WDL問題源於單模光纖SMF中的模場色散，我們知道，光纖中的不同波長具有不同的模場直徑，長波的模場直徑更大一些。圖4所示爲光纖中模場的色散情況。
圖4. 光纖中模場色散情況
如圖4所示，光束被MEMS微鏡反射偏轉，不同波長的的光斑均偏離出射光纖的纖芯。在未經優化的VOA中，所有波長的光斑具有相同的偏移量。如式（1），衰減量A取決於偏移量X和模場半徑ω。
(1)
在一個相對有限的波長範圍內，如C波段(1.53~1.57μm)，單模光纖中的模場色散情況可以式（2）作線性近似處理[3]。
(2)
對於常用的康寧公司SMF-28型單模光纖，上式中的係數爲a=5.2μm、b=3.11@λc=1.55μm。當中心波長λc處的衰減量Ac給定時，得到光斑的偏移量Xc如式（3）。
(3)
綜合式（1-3）可得到波長範圍λs~λl內的WDL如式（4），其中下標s, c, l分別代表波段範圍內的短波、中波和長波。
(4)
根據式（4），當VOA的衰減量Ac設置越大時，光斑的偏移量Xc也越大，因此會產生更大的WDL，如圖5, 圖6所示。根據圖6，在衰減範圍0~20dB和波長範圍1.53~1.57μm之內，最大WDL可達0.96dB。商用MEMS VOA可測得最大WDL爲1.5dB，這是因爲光學系統色散的影響，造成不同波長的光斑在輸出光纖端面的偏移量不同。這種情況與圖4所示情況不同，在圖4中，所有光斑具有相同的偏移量。
圖5. 對應不同衰減水平的WDL
圖6. 對應不同衰減水平的WDL
MEMS微鏡型VOA的WDL優化
MEMS微鏡型VOA中的WDL源於兩個因素：模場色散和光學系統色散，兩個因素的影響累加起來，讓最大WDL達到1.5dB。那麼這兩個因素的影響能否相互抵消，以助於減小WDL呢？答案是可以，但需要精細的分析和設計。
根據式（1），長波具有更大的模場直徑，因此其衰減量更小。如圖4.16所示，如果光學系統能夠對長波的光斑產生更大的偏移量，就可以增加長波的衰減量，從而對衰減譜線產生均衡作用。
圖7. 光學系統的色散與模場色散相互抵消情況
然而，根據式（4），因兩個因素產生的WDL，只能在某個特定的衰減水平Ac下完全相互抵消。當VOA器件的衰減量被設置爲一個異於Ac的數值時，將會存在剩餘WDL，如圖8所示。
從圖8中看到，在優化之前，最大WDL產生於衰減量爲20dB時。如果通過優化，將衰減量爲20dB時的WDL完全抵消，則最大WDL產生於衰減量爲4dB時。 如果將衰減量爲13dB時的WDL完全抵消，則在0~20dB的衰減範圍內，最大WDL將<0.2dB。
圖8. 兩個引起WDL的因素相互抵消情況
目前已有各種方案，可通過光學系統產生相反的色散。在圖9中，準直透鏡與MEMS微鏡之間插入了一個棱鏡，因而光學系統的色散與模場色散相互抵消。然而，額外加入的棱鏡會增加VOA器件的成本和複雜度。圖10展示了另一個解決方案，該方案要求製造準直透鏡的玻璃材料具有很高的色散，並且透鏡前端面傾角>10°（在現有器件中，這個角度通常爲8°）。 
圖9 通過引入棱鏡來優化WDL ； 圖10 通過高色散的準直透鏡來優化WDL
基於對光學系統色散的透徹分析，華中科技大學的萬助軍等人提出了第三種解決方案，準直透鏡的材料爲常用的N-SF11玻璃，透鏡的曲率半徑也是常用的R=1.419mm。爲了優化WDL指標，得到準直透鏡的其他參數之間的關聯曲線如圖4.20所示，曲線上任意一點給出準直透鏡的一組參數：端面角度φ和透鏡長度L。基於這些參數加工準直透鏡，VOA器件的WDL指標將得到優化。注意圖11中的端面角度φ均爲負值，因此雙光纖插針與準直透鏡需要按照圖12（d）中的方向進行裝配，而非如圖12（c）中的現有MEMS VOA裝配方式。他們最終裝配的MEMS微鏡VOA如圖13所示，據報道，在衰減範圍0~20dB和波長範圍1.53~1.57μm之內，測得最大WDL<0.4dB。
圖11. WDL優化之後準直透鏡參數之間的關係
圖12. 通過調整準直透鏡端面角度優化WDL指標
圖13. MEMS微鏡VOA樣品
隨着DWDM技術的快速發展，MEMS VOA的在光通信網絡中的應用將越來越廣泛。億源通立足於現有業務的需求以及面向未來網絡發展需求，推出了一系列自主研發的MEMS技術產品， 包括1×48通道的光開關， 與 WDM、PLC 或 PD 集成的 MEMS 光開關模塊，以及MCS模塊等。
億源通，是一家專注於光通信無源基礎器件研發、製造、銷售與服務於一體的無源光通信器件OEM/ODM廠商，主要生產和銷售光纖連接類產品（光纖連接器、適配器、跳線），WDM波分複用器，PLC光分路器，MEMS光開關等核心光無源基礎器件，廣泛應用於光纖到戶、4G/5G移動通信、互聯網數據中心、國防通信等領域。