諧振式傳感器
基於機械諧振技術，以諧振元件作爲敏感元件而實現測量的傳感器稱爲諧振式傳感器。諧振式傳感器自身爲週期信號輸出（準數字信號），只用簡單的數字電路即可轉換爲易與微處理器接口的數字信號，同時其重複性、分辨力、穩定性十分優良。
- 特點：
1）輸出是準數字信號，易於處理。
2）系統功耗小、穩定性好、抗干擾性好。
3）傳感器處於諧振狀態：輸出自動跟蹤輸入，重複性好，靈敏度、分辨率、精確度高。
4）整體式結構，無活動部件，機械結構牢固，可靠性好。 - 缺點：
1）要求材料質量較高。
2）加工工藝複雜、生產週期長、成本較高。
3）其輸出頻率與被測量的關係往往是非線性的，必須進行線性化處理才能保證良好的精度。
諧振式傳感器的工作原理與結構組成
1.1 工作原理
任何彈性體都具有固有振動頻率，當外界的激勵可以克服阻尼力時，它就可能產生振動，其振盪頻率與彈性體的固有頻率、阻尼特性及激勵特性有關。若激勵的頻率與彈性體的固有頻率相同、大小剛好可以補充阻尼的損耗時，該彈性體即可作等幅連續振盪，振動頻率爲其自身的固有頻率，當被測量變化時，引起振動系統等效剛度或等效質量發生變化，從而致使彈性體的固有頻率發生變化。
1.2 結構組成
1.3 諧振子的品質因數
振筒式傳感器
振弦式傳感器
作業
- 試述振筒式壓力傳感器的工作原理。
（見上） - 諧振式傳感器輸出信號的測量爲什麼用週期法比頻率法精度高？
無論採用哪種測量方法，由於計數器只能整數計數而產生±1的計數誤差，從而提高標準頻率信號的頻率就可以減小測量誤差提高測量精度，而測頻法受到信號本身頻率大小的限制，所以精度比較低。例如週期法採用1Mhz的標準信號測量1Khz的諧振頻率信號，比測頻法的精度高。