原创 SECS/GEM開發
1、參考SEMI標準 E4-0699 SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I) E5-0600 SEMI Equipment Communicat
2018-12-07 23:01:08
132
原创 SECS/GEM半導體通信協議簡述--成功開始
幾年前的研究和開發，今天做個記錄以下demo爲本人開發，成果如下：成功通信的信息：SML的信息格式：錯誤的信息情況：聯繫方式：點滴的記錄，爲後繼加油！
2018-08-25 12:21:07
102