軟件過程評估所關注的是軟件組織自身內部軟件過程的改進問題，目的在於發現缺陷，提出改進的方向。
我簡要的說明一下步驟：
第一步：建立一個評估評價組，該組的成員應具有豐富的軟件工程和管理知識的專業人員，並接受過CMM模型基本概念和評估及評價方法方面的有關培訓。 第二步：填寫提問單，完成問卷調查和取樣工作。其內容和涉及的問題要從評價和評估的角度出發，具有代表性，能夠反映軟件成熟度的基本評價。 第三步：進行響應分析。評估和評價組對提問單響應進行統計分析，定義必須作進一步探查的區域。待探查的區域與CMM的關鍵過程域相對應。 第四步：進行現場訪問。評估小組開始深入被評估的單位，以分析結果爲依據，組織會談和評審有關文檔，以便更好地理解軟件過程的情況。所有工作都是以CMM模型關鍵過程域和主要實踐活動爲指導，進行提問、傾聽、檢查，以及協商等工作。評估組對存在的問題、理論與實踐的差異和是否滿足目標等進行詳細記錄，並運用專業性判斷得出結論。 第五步：提出調查發現清單。在現場工作階段結束時，評估或評價組必須提供出評估單位軟件過程的優缺點及強項和弱項清單。在軟件過程評估中，該調查發現清單作爲提出過程改進建議的基礎；在軟件能力評價中調查發現清單作爲軟件採購單位所作風險分析的參考資料。 第六步：製作關鍵過程域（KPA）剖面圖。評估和評價組依據關鍵過程的基本情況列出評估提綱。指出被評估單位已經滿足的軟件過程域目標和尚未滿足的軟件過程域目標。一個關鍵過程域可能是已滿足要求的，但仍存在一些相關的問題，如果未發現或未指出這些問題，就會妨礙實現該關鍵過程域的某個目標。值得注意的是已經滿足目標的軟件過程域並不意味着不存在相關的缺陷，只是這些缺點並不影響主體。