從7nm到5nm,半導體制程

從7nm到5nm,半導體制程

芯片的製造工藝常常用XXnm來表示,比如Intel最新的六代酷睿系列CPU就採用Intel自家的14nm++製造工藝。所謂的XXnm指的是集成電路的MOSFET晶體管柵極的寬度,也被稱爲柵長。柵長越短,則可以在相同尺寸的硅片上集成更多的晶體管。

目前,業內最重要的代工企業臺積電、三星和GF(格羅方德),在半導體工藝的發展上越來越迅猛,10nm製程纔剛剛應用一年半,7nm製程便已經好似近在眼前,上個月雷鋒網剛剛還報道過下一代iPhone A12處理器將使用臺積電7nm製程生產的消息。

當半導體工藝繼續向前演進時,由於隨着晶體管尺寸逐漸縮小至接近物理極限,在各種物理定律的束縛下,半導體工廠如同戴着鐐銬跳舞,因此在幾家廠商紛紛出現“異常狀況”:本應屬於整代工藝的16nm製程被臺積電所用,Intel的14nm製程字面上卻應該屬於半代工藝的範疇。再接下來,幾家則不約而同的選擇了10nm->7nm->5nm的路線,整代和半代的區別自此成爲歷史。

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2020年,半導體制程工藝實現了技術性跳躍,從7nm邁入了5nm,能夠同臺PK的玩家僅剩臺積電和三星。對於5nm技術進展,臺積電在4月16日的財報會議上表示,臺積電5nm將於2020年下半年大規模量產,預計全年可貢獻約10%的營收。而7nm與6nm將帶來30%的營收。

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另一邊,三星也在加碼投資部署5nm製程工藝,預計6月底5nm EUV生產線就能建設完畢,最快今年年底開始生產5nm。可以看到,今年的芯片製程工藝之爭中,最令人矚目的不是7nm,也不是6nm,而是5nm。

7nm與5nm差距

半導體制程技術從7nm邁入5nm,將爲芯片性能及工藝效率等帶來極大程度的提升。尺寸越小意味着在相同面積之內可以儲存更多的晶體管,從而達到更快的運行速度,並降到能耗。

製程工藝的進步將會爲芯片帶來哪些屬性的提升呢?5nm製程工藝目前還沒有商用,我們不妨用10nm和7nm做個對比。以華爲麒麟處理器來看,從麒麟970(臺積電10nm製程工藝)到麒麟980(臺積電7nm製程工藝),其晶體管數量從55億上升至69億,同比增長25.5%,這也導致其CPU性能提升50%、GPU性能提升100%、NPU性能也提升了100%。當然,製程工藝的提升除了會改變處理器的性能外,還會降低功耗、縮短產品研發週期等,這也是行業不斷提升芯片製程工藝的原因所在。

按照全球IC晶圓廠技術演進路線來看,在2020年這個時間節點上,僅臺積電和三星實現5nm量產。其中,格羅方德和聯電基本已經放棄了7nm製程工藝的研發;英特爾目前還在研發7nm;中芯國際的7nm製程工藝將於2020年年底實現量產。

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在對比臺積電和三星兩家5nm工藝方面,由於兩家企業對製程工藝定義的標準不同,很難界定孰好孰壞。但根據此前雙發公佈的信息來看,他們5nm主要的對比對象是上一代的7nm工藝,我們不妨先來看看兩家企業7nm技術的差異化。

從工藝數據方面來看,國際公認的半導體專家和IC Knowledge的創始人Scotten Jones 給出的對比如下:

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基於此數據,Scotten Jones得出的結果是,這兩家7nm工藝在晶體管密度上非常接近,但臺積電的產能會高於三星。也就是說,三星第三代7nm工藝與臺積電第二代7nm工藝相當,那麼他們5nm工藝究竟如何呢?

三星暫時落後

三星電子高管在2020年3月份的股東大會上曾表示,三星與臺積電在代工業務方面存在差距,但三星將利用新工藝的領先優勢來發展代工業務。這也暗示着,三星即將量產的5nm工藝與臺積電的存在着差距。

早在2019年4月16日,三星便宣佈5nm FinFF工藝技術已開發完成,可以爲用戶提供樣品,預計將在2020年下半年量產。

具體來看,三星曾透漏,5nm工藝將使用相同的7LPP晶體管SRAM並提供GR兼容性。5LPE與7LPP相比具有許多優勢,具體取決於選擇的遷移路徑。通過增強晶體管的改進,三星聲稱在使用5LPE 7.5T庫時其7LPP工藝的性能提高了10%。同時,三星還增加了單鰭器件低泄漏器件,它們可將功耗降低20%。

據韓國商業報報道,三星正加速在韓國華城建造的5nm工廠,預計6月份完成建設,最快年底可以生產5nm工藝,目前三星收到了高通的訂單,以現在的時間線來推算,三星可以在年底量產高通X60 5G調制解調器芯片組。

除了高通外,谷歌也正式宣佈,公司自研的SOC已經流片,將有望在Pixel系列手機上搭載。這顆芯片代號叫“Whitechapel”,搭載的是8核CPU,將採用三星5nm工藝製程。

另外,據韓國商業報報道,由於受疫情影響,荷蘭ASML公司很難將設備出口,這給三星、臺積電等在內的全球半導體廠商帶來了負面影響。業內人士表示,荷蘭ASML設備交付影響了三星、臺積電這兩家巨頭的研發、生產進度,其中三星遭受的損失會更大。由於三星去年購買的EUV設備部分用於DRAM生產,導致量產5nm工藝所需的EUV設備數量不夠,與臺積電相比有較大差距。

臺積電遙遙領先

在5nm晶體管密度方面,據臺積電此前透漏,臺積電5nm將繼續使用荷蘭ASML EUV光刻機,相比於第一代7nm晶體管密度可猛增80%(相比第二代則是增加50%)。

關於這一點,WikiChips也根據臺積電一篇論文中的晶體管結構側視圖給出了分析結果,臺積電5nm的柵極間距爲48nm,金屬間距則是30nm,鰭片間距25-26nm,單元高度約爲180nm,照此計算,臺積電5nm的晶體管密度將是每平方毫米1.713億個。相比於初代7nm的每平方毫米9120萬個,這一數字增加了足足88%,而臺積電官方宣傳的數字是84%。

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相比初代7nm工藝,臺積電曾透漏5nm將提供1.8倍的密度,實現15%-30%的性能提升,其中,5nm的HPC選項將提供最高達25%的性能提升。

在設備方面,臺積電計劃爲5nm開設一座新的晶圓廠Fab 8,重新引入多臺新光刻機,但是目前EUV光刻機的平均日常功率只有145W,部分可以持續幾周做到250W,都不足如完全投入商用,預計2020年下半年才能達到300W,這與臺積電5nm工藝量產規劃相符。

在客戶方面,臺積電曾透漏,其5nm訂單已經滿載,客戶包括蘋果、華爲海思、AMD、比特大陸等。據中國臺灣經濟日報報道,受疫情持續發酵影響,華爲已經砍掉了部分臺積電代工的麒麟1020處理器訂單,而這部分5nm訂單已被蘋果填補。報道還指出,蘋果還要求臺積電在2020年第四季度追加1萬片產能,和AMD等公司搶奪下半年5nm二代製程產能。

總結

具體來看,三星與臺積電的5nm工藝在晶體管密度、性能提升、功耗、量產時間及規模方面都有很大的差距。但我們看到,5nm之後還有3nm甚至2nm,三星在3nm工藝的表現能否超越臺積電,以及中芯國際是否能夠趕上三星和臺積電在製程工藝技術的步伐,值得期待!

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