MEMS傳感器的應用及類型

MEMS傳感器的應用及類型

MEMS傳感器即微機電系統是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發展，已成爲世界矚目的重大科技領域之一。
它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。截止到2010年，全世界有大約600餘家單位從事MEMS的研製和生產工作，已研製出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數字微鏡顯示器在內的幾百種產品，其中MEMS傳感器佔相當大的比例。MEMS傳感器是採用微電子和微機械加工技術製造出來的新型傳感器。
與傳統的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適於批量化生產、易於集成和實現智能化的特點。同時，在微米量級的特徵尺寸使得它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。

1.應用於醫療
　　2.應用在汽車電子
　　3.應用於運動追蹤系統
4.應用在手機拍照領域

MESM傳感器有以下幾類
　　MEMS壓力傳感器
　　MEMS陀螺儀傳感器
　　MEMS流量傳感器

MEMS加速度計
　　MEMS重力傳感器

MEMS傳感器作爲獲取信息的關鍵器件，對各種傳感裝置的微型化起着巨大的推動作用，已在太空衛星、運載火箭、航空航天設備、飛機、各種車輛、生特醫學及消費電子產品等領域中得到了廣泛的應用。