mems加速度計在石油測井中的應用

mems加速度計在石油測井中的應用
隨着MEMS技術的發展，慣性傳感器件在過去的幾年中成爲最成功，應用最廣泛的微機電系統器件之一，而微加速度計就是慣性傳感器件的傑出代表。
微加速度計的理論基礎就是牛頓第二定律，根據基本的物理原理，在一個系統內部，速度是無法測量的，但卻可以測量其加速度。如果初速度已知，就可以通過積分計算出線速度，進而可以計算出直線位移。結合陀螺儀（用來測角速度），就可以對物體進行精確定位。根據這一原理，人們很早就利用加速度計和陀螺進行輪船，飛機和航天器的導航。
近年來人們又把這項技術用於汽車的自動駕駛和導彈的制導。汽車工業的迅速發展又給加速度計找到了新的應用領域，汽車的防撞氣囊就是利用加速度計來控制的。 作爲最成熟的慣性傳感器應用，現在的MEMS加速度計有非常高的集成度，即傳感系統與接口線路集成在一個芯片上。
其中電容式mems加速度計在耐高溫125度 以及抗震性和準確性是比較成熟新的。
　　電容式微加速度計 電容式微加速度計是最常見的，也有成熟推廣的產品。其基本原理就是將電容作爲檢測接口，來檢測由於慣性力作用導致慣性質量塊發生的微位移。質量塊由彈性微梁支撐連接在基體上，檢測電容的一個極板一般配置在運動的質量塊上，一個極板配置在固定的基體上爲典型的三明治結構的平板電容式微加速度計。以及開發的電容式微加速度計採用梳齒陣列電容作爲檢測接口。電容式微加速度計的靈敏度和測量精度高、穩定性好、溫度漂移小、功耗極低，而且過載保護能力較強；能夠利用靜電力實現反饋閉環控制，顯著提高傳感器的性能